洁净室空气过滤滤芯

ULPA过滤器

过滤器厂家 安全可靠 长效稳定 支持定制
U15-U17级ULPA是目前洁净领域级别的过滤设备,对粒径≥0.1-0.2μm的超细颗粒物过滤效率可达到99.9995%-99.999995%。主要用于ISO 3-4级(1-10级)超净环境,同时满足GMP、ISO 14644等国际国内行业标准,是半导体光刻、纳米材料制备、生物医药研发等领域的核心净化装备。

厂家直供

资质齐全

免费指导

售后完善

132 2373 6050

描述:

U15-U17级ULPA是目前洁净领域级别的过滤设备,对粒径≥0.1-0.2μm的超细颗粒物过滤效率可达到99.9995%-99.999995%。主要用于ISO 3-4级(1-10级)超净环境,同时满足GMP、ISO 14644等国际国内行业标准,是半导体光刻、纳米材料制备、生物医药研发等领域的核心净化装备。

按材质和结构,分为PTFEULPA、槽液型ULPA和无隔板ULPA。


核心技术优势:

极限过滤能力:U17级对0.1-0.2μm颗粒效率达99.999995%(即每1000万个颗粒中穿过的≤1个),满足ISO 3级(1级)洁净室要求。PTFE覆膜滤料:表面过滤机理,粉尘不渗透,压损低、易清灰,适用于高洁净度要求的半导体前端制程。

液槽密封:凝胶密封形式确保零泄漏,适合对颗粒控制极严的场景。

不锈钢外框:耐腐蚀、不产生锈蚀颗粒,适用于酸碱环境和经常消毒的场所。


工况适配对照表:

 

应用场所洁净度等级推荐型号关键要求
半导体光刻(7nm以下)ISO 3-4级U16/U17PTFE滤料、不锈钢框
纳米材料研发ISO 4级U15低风速设计
硬盘/精密光学制造ISO 4-5级U15防震安装
生物医药研发(细胞治疗)ISO 5级U15(个别点)
高科技研发实验室ISO 4-5级U15/U16


应用领域:

ISO 1-5级(十级、百级)高端洁净室终端净化过滤

GMP认证无菌制药车间、生物安全实验室核心净化

半导体、芯片、晶圆制造及微电子车间精密终端过滤

医疗手术室、无菌ICU等专用过滤

精密光学仪器、航天航空组件、锂电池高端生产车间净化

终端Ultra-efficient净化过滤定制


案例与数据佐证:

某晶圆制造工厂原本使用传统玻纤ULPA过滤器,压降较高导致能耗居高不下,且玻纤滤材在安装、存储和维护过程中易损坏。为客户定制了PTFEULPA,产品阻力仅为玻纤介质的一半,且具有更优的耐久性。

常见问题解答:

Q1:ULPA和HEPA的主要区别是什么?

A:ULPA针对更小的粒径(0.1-0.2μm)达到更效率高(≥99.9995%),而HEPA针对0.3μm达到99.95%-99.995%。ULPA通常用于需要ISO 4级以上洁净度的领域,成本约为HEPA的2-3倍。

Q2:ULPA过滤器为什么使用PTFE滤料?

A:PTFE覆膜具有表面过滤特性,颗粒不易嵌入滤料内部,压降上升缓慢、不易堵塞,使用寿命更长;同时化学稳定,不吸附AMC/不析出离子,适用于半导体行业。

Q3:ULPA是否需要PAO检漏?

A:需要,且漏率要求更严。HEPA接受≤0.01%穿透率(10000个中通过1个),ULPA要求≤0.0005%穿透率(200000个中通过1个),检漏标准更严格。

Q4:ULPA过滤器的更换频率是多少?

A:在半导体Fab中,U15-17级一般4-5年更换一次。需每半年或一年进行PAO检漏,发现泄漏超过阈值则提前更换。


相关推荐
首页 电话 TOP